Mikro- und Nanostrukturierungslabor an der Uni eingeweiht

GIESSEN (fsy).                Im Beisein von Vertretern aus der Universität, Politik und Wirtschaft wurde am vergangenen Freitag das neue Mikro- und Nanostrukturierungslabor am 1. Physikalischen Institut an der Universität in Giessen eingeweiht.

Das neue Reinlabor ist eine zentrale Einrichtung, die den Nano- und Materialwissenschaften im regionalen Raum in der Mitte von Hessen einezeitgemäße Ausrüstung zur Verfügung stellen will
(Fotos: Frank Sygusch / Giessen-Server.de)

Das neue Reinlabor ist eine zentrale Einrichtung, die den Nano- und Materialwissenschaften im regionalen Raum in der Mitte von Hessen eine zeitgemäße Ausrüstung zur Verfügung stellen will. Nach der Begrüßung der Gäste durch den geschäftsführenden Direktor des Instituts Prof. Dr. Bruno Mayer erläuterte der wissenschaftliche Leiter Prof. Dr. Peter J. Klar den Aufbau des Labors, das aus Mitteln der Universität Giessen, der Deutschen Forschungsgemeinschaft und dem Nanonetzwerk Hessen finanziert wurde.

Der wissenschaftliche Leiter des Mikro- und Nanostrukturierungslabors am 1. Physikalischen Institut in Giessen Prof. Dr. Peter J. Klar
(Foto: Frank Sygusch / Giessen-Server.de)

Die Einrichtung besteht aus einem Prozeßlabor der Reinraumklasse 10000 und einem Lithographielabor der Reinraumklasse 1000. In der Strukturübertragung in einer Größenordnung von 3.5 bis 4 Zoll Chrommaske lassen sich Strukturen von wenigen Mikrometern über die Breitband-Fotolithographie übertragen. Additive Übertragungsverfahren von kleinsten Strukturen sind über Aufdampfanlagen im Reinlabor mit Ätzverfahren möglich. Die Strukturübertragungstechniken entwickeln sich ständig weiter und spielen in den Materialwissenschaften und vielen industriellen Fertigungsprozeßen, wie z.B. in der Sensorik im Fahrzeugbau, eine zunehmend wichtigere Rolle. Die Integration von Nanostrukturen in Bauelementen (Nano-Mikro-Integartaion) kann auf diesem Wege realisiert werden.

Die Reinraumarbeiten hatten im Dezember 2006 begonnen und die Fertigstellung des Labors erfolgte im Mai 2007. Mit der Fotolithographie wurde im Juni 2007 begonnen. Die Lieferung der Elektronenstrahllithographieausrüstung, bestehend aus einem Rasterelektronenmikroskop (SEM) und einem Schreibzusatz erfolgte im Februar 2008.

Das Labor wird in erster Linie von universitären Gruppen gepflegt und genutzt. Für wissenschaftliche und technische Arbeiten steht das Mikro- und Nanostrukturierungslabor den Studierenden aller Abschlüsse zur Verfügung.

Dr. Torsten Henning, Mitarbeiter am Institut, ist für die technisch-administrative Abwicklung im Zusammenhang des Reinlabors in der Abteilung Mikro- und Nanophysik vor Ort zusändig. Für Auftragsabeiten und Forschungsvorhaben kann das Labor auch von anderen mittelhessischen Instituten, Fächern und Fremdnutzern in Anspruch genommen werden. Hier werden Pauschalen für die Unterhaltungs- und Materialkosten anteilig und gestaffelt umgelegt. Weiterhin können jetzt Projekte im Schnittfeld zwischen Forschung, Lehre und der mittelständischen Industrie vor Ort geplant und durchgeführt werden.

Die Nanotechnologien bieten in zahlreichen zukunftsorientierten Arbeitsfeldern eine enorme Chance für Wirtschaft und Gesellschaft, die einen nachhaltigen Umgang mit den Forschungszweigen (Prozeßoptimierung, Halbleiterphysik, Oberflächentechnologie, etc.) erfordern.

Giessen, 15. Juni 2008 / alle Fotos: Frank Sygusch / Giessen-Server.de